Современные лазерно-информационные технологии

Микроэлектроника, интегральные схемы В коллективной монографии обсуждаются современное состояние и тенденции развития фундаментальных и прикладных исследований мощных газовых лазеров и лазерных методов обработки материалов, аддитивных технологий, а также развития и применения современных лазерно-информационных технологий в микро- и наноэлектронике, фотонике и медицине. Монография может быть полезна для научных сотрудников и специалистов, занимающихся решением фундаментальных и прикладных задач в указанных областях.